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本申请提供一种中空对位旋转平台机构，包括：平台底座；平台安装板，平行设置于平台底座的上方、用以安装晶圆承载板；驱动机构，安装于平台底座且连接平台安装板、用以驱动平台安装板绕旋转中心旋转；导向机构，安装于平台底座和平台安装板、用以限定平台安装...
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