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用于基板库的卸载装置、基板库系统制造方法及图纸
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下载用于基板库的卸载装置、基板库系统的技术资料
文档序号:41290190
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本发明涉及一种用于基板库的卸载装置,其中,所述基板库(3、4、5)具有多个抽屉(7),在抽屉中可以安置用于存储或临时存储的基板,具有至少一个上面可以放置基板的、可驱控的传送带(25),具有至少一个可驱控的夹持臂(10),该夹持臂被构造用于将...
该专利属于亚席斯自动化系统有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过亚席斯自动化系统有限公司授权不得商用。
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