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一种光电传感器及其形成方法,光电传感器包括:基底,基底具有受光面,且基底包括感光像素区,感光像素区包括多个呈矩阵分布的像素单元区,在受光面一侧,像素单元区的基底中形成有多个陷光槽;第一型掺杂区,位于陷光槽下方的基底中;第二型掺杂区,位于陷光...该专利属于中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。
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一种光电传感器及其形成方法,光电传感器包括:基底,基底具有受光面,且基底包括感光像素区,感光像素区包括多个呈矩阵分布的像素单元区,在受光面一侧,像素单元区的基底中形成有多个陷光槽;第一型掺杂区,位于陷光槽下方的基底中;第二型掺杂区,位于陷光...