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本发明提供成膜装置、成膜方法、导电膜的制造装置和制造方法。成膜装置是将含有微粒的雾供给至基板，在基板的表面形成包含所述微粒的膜的成膜装置，所述成膜装置具备：雾发生部，其将含有所述微粒的液体雾化，产生所述雾；雾供给部，其将所述雾供给至所述基板...
该专利属于株式会社尼康所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社尼康授权不得商用。

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