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本公开提供一种SE太阳能电池用硅片的链式湿法氧化方法,包括:通过臭氧喷淋对硅片的正面开槽位置进行氧化;以及在硅片正面淋镀水膜。本公开还提供一种SE太阳能电池用硅片的链式湿法制备方法,其中包括采用前述氧化方法对硅片进行氧化的步骤。本公开还提供...该专利属于云南润阳世纪光伏科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过云南润阳世纪光伏科技有限公司授权不得商用。
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本公开提供一种SE太阳能电池用硅片的链式湿法氧化方法,包括:通过臭氧喷淋对硅片的正面开槽位置进行氧化;以及在硅片正面淋镀水膜。本公开还提供一种SE太阳能电池用硅片的链式湿法制备方法,其中包括采用前述氧化方法对硅片进行氧化的步骤。本公开还提供...