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一种并联结构的微波相变开关制造技术
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下载一种并联结构的微波相变开关的技术资料
文档序号:41288698
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一种并联结构的相变开关,属于微波开关器件技术领域。包括基片、加热层、介质隔离层、相变层和电极层;其中,加热层位于基片之上,为哑铃形结构;介质隔离层位于加热层之上,介质隔离层为矩形、且不完全覆盖加热层;相变层位于介质隔离层之上,相变层包括第一...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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