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本发明提供一种电弧蒸发源，其包括：包含靶材放电面的靶材；电弧电源；被配置在靶材的前方的位置的电磁线圈；以及被配置在靶材的后方的位置的中央磁铁。电磁线圈形成包含与靶材放电面交叉且以沿前后方向通过该电磁线圈的径向内侧的方式延伸的第一磁力线的第一...
该专利属于株式会社神户制钢所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社神户制钢所授权不得商用。

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