下载处理方法和处理系统的技术资料

文档序号:41288017

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一种处理方法,是第一基板与第二基板接合而成的重合基板的处理方法,所述处理方法包括:沿着所述第一基板的作为去除对象的周缘部与所述第一基板的中央部之间的边界形成周缘改性层;形成使所述周缘部处的、所述第一基板与所述第二基板之间的接合强度减弱的未接...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。