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本申请提供一种集成光栅和铌酸锂薄膜波导的方法，包括如下步骤:在硅基的铌酸锂薄膜晶圆A上光刻和刻蚀光栅；在具有光栅的铌酸锂薄膜层上沉积二氧化硅介质膜并进行化学机械抛光以使表面平坦化并降低表面粗糙度；此晶圆A和已经离子注入的铌酸锂晶圆B合并在高...
该专利属于平湖科谱激光科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过平湖科谱激光科技有限公司授权不得商用。

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