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本申请涉及一种电子束扫描的控制方法、装置、设备、介质和程序产品。方法包括：先基于目标版图获取扫描数据序列，然后根据扫描数据序列生成扫描填充信号序列，最后根据扫描填充信号序列，控制电子束进行目标版图的扫描处理。采用本方法能够形成一种新的扫描方...
该专利属于北京大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京大学授权不得商用。

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