温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及三氯硅烷制造装置及其制造方法。具体而言，本发明的三氯硅烷制造装置在分解炉（２）内设有加热分解炉（２）的内部的加热装置（８）、沿分解炉（２）的上下方向将聚合物和氯化氢引导至内底部并从下端开口部（３ａ）供给至分解炉（２）内的原料供给管...
该专利属于三菱麻铁里亚尔株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过三菱麻铁里亚尔株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。