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一种PZT-CZ异质结构超高击穿电场薄膜材料的制备方法技术
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下载一种PZT-CZ异质结构超高击穿电场薄膜材料的制备方法的技术资料
文档序号:41281611
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本发明公开了一种PZT‑CZ异质结构超高击穿电场薄膜材料的制备方法,属于化学工程技术领域。本发明通过将PZT前驱体溶液旋涂Pt(111)/TiO2/SiO2/Si(100)衬底上制得PZT湿膜;所得PZT湿膜通过干燥、热解、退火制得一层PZ...
该专利属于贺州学院所有,仅供学习研究参考,未经过贺州学院授权不得商用。
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