下载半导体设备和形成半导体设备的方法的技术资料

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本公开涉及半导体设备和形成半导体设备的方法。公开了一种竖直腔面发射激光器(VCSEL)设备,该设备包括具有波导的VCSEL发射极,该波导具有引导部分和反引导部分。引导部分和反引导部分可以选择和限制VCSEL发射极的模式。反引导部分还可以用于...
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