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本发明提供一种旋涂方法，包括：提供晶圆；将所述晶圆以第一转速转动时，向所述晶圆表面的中心滴入光刻胶，并在滴入光刻胶后，使所述晶圆以所述第一转速转动第一时间段；控制所述晶圆以第二转速转动第二时间段后，控制所述晶圆以第三转速转动第三时间段，所述...
该专利属于广东省大湾区集成电路与系统应用研究院所有，仅供学习研究参考，未经过广东省大湾区集成电路与系统应用研究院授权不得商用。

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