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本发明提供一种基板清洗装置、干燥装置、输送装置、载置装置、处理装置及方法、带电量控制方法及介质。抑制形成于基板的表面的膜的腐蚀。根据一个实施方式，提供一种基板清洗装置，具备：基板保持旋转机构，该基板保持旋转机构保持基板并使该基板旋转；清洗液...
该专利属于株式会社荏原制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社荏原制作所授权不得商用。

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