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本技术提供了一种控温装置，包括氮气管路和控温单元，所述控温单元与所述氮气管路连接，用于获取镜头冷却水对所述氮气管路进行温度调节，通过获取镜头冷却水对所述氮气管路进行温度调节，能够实现对氮气管路中氮气的温度调节，极大地改善原氮气管路来改变机台...
该专利属于芯恩（青岛）集成电路有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过芯恩（青岛）集成电路有限公司授权不得商用。

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