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本发明公开了一种爆炸箔制备方法，属于微型低能量点火和起爆技术领域，包括：S10，清理晶圆基片：去除晶圆基片表面杂质沾污；S20，沉积薄膜：首先，溅射金属钛钨薄膜，然后蒸发金属镍薄膜和金薄膜，且金属钛钨薄膜、金属镍薄膜和金薄膜从下向上顺次排布...
该专利属于中北大学所有，仅供学习研究参考，未经过中北大学授权不得商用。

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