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一种微镜单元及相关设备制造技术
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下载一种微镜单元及相关设备的技术资料
文档序号:41271922
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本申请实施例提供了一种微镜单元及相关设备。微镜单元包括:镜面、第一电极、第二电极、悬臂梁、梁支撑柱和镜面支撑柱,悬臂梁的第一端形成有第一静弹性体。梁支撑柱分别与第一电极的上表面和悬臂梁的下表面连接,镜面支撑柱分别与悬臂梁的上表面和镜面的下表...
该专利属于华为技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华为技术有限公司授权不得商用。
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