下载一种微镜单元及相关设备的技术资料

文档序号:41271922

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本申请实施例提供了一种微镜单元及相关设备。微镜单元包括:镜面、第一电极、第二电极、悬臂梁、梁支撑柱和镜面支撑柱,悬臂梁的第一端形成有第一静弹性体。梁支撑柱分别与第一电极的上表面和悬臂梁的下表面连接,镜面支撑柱分别与悬臂梁的上表面和镜面的下表...
该专利属于华为技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华为技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。