【技术实现步骤摘要】
本申请涉及数字微镜领域，尤其涉及一种微镜单元及相关设备。
技术介绍
1、数字微镜可广泛应用于投影仪、背投电视等工业化场景，以及近年来发展中的增强现实等领域。数字微镜的典型的应用实例是用作图像投影系统中的核心组件，数字微镜可以包括多个微镜单元。数字微镜中各微镜单元有两个方向相反的最大偏转角度。微镜单元中镜面的最大偏转角度决定了入射光的偏转方向。
2、在微镜单元中，镜面下方设置有用于支撑镜面的支撑柱，镜面通过支撑柱与悬臂梁连接。随着镜面的转动，悬臂梁会发生弯曲形变，从而导致悬臂梁与支撑柱连接处容易产生应力集中，悬臂梁的损坏风险较高。
技术实现思路
1、本申请实施例提供了一种微镜单元及相关设备，降低了悬臂梁和镜面的损坏风险，并降低了镜面切换转动方向的时长。
2、第一方面，本申请实施例提供了一种微镜单元。该微镜单元包括：第一电极、第二电极、悬臂梁、梁支撑柱和镜面支撑柱，悬臂梁的第一端形成有第一静弹性体。梁支撑柱分别与第一电极的上表面和悬臂梁的下表面连接，镜面支撑柱分别与悬臂...
【技术保护点】
1.一种微镜单元，其特征在于，包括：镜面、第一电极、第二电极、悬臂梁、梁支撑柱和镜面支撑柱，所述悬臂梁的第一端形成有第一静弹性体；
2.根据权利要求1所述的微镜单元，其特征在于，所述悬臂梁的第二端形成有动弹性体；
3.根据权利要求1或2所述的微镜单元，其特征在于，所述微镜单元还包括第二静弹性体，所述第二静弹性体固定在所述第一电极上，所述第一静弹性体和所述第二静弹性体分别位于所述转轴的同侧；
4.根据权利要求1至3中任一项所述的微镜单元，其特征在于，所述第一电极、所述第二电极、所述悬臂梁、所述梁支撑柱和所述镜面支撑柱的数量均为两个，两...
【技术特征摘要】
1.一种微镜单元，其特征在于，包括：镜面、第一电极、第二电极、悬臂梁、梁支撑柱和镜面支撑柱，所述悬臂梁的第一端形成有第一静弹性体；
2.根据权利要求1所述的微镜单元，其特征在于，所述悬臂梁的第二端形成有动弹性体；
3.根据权利要求1或2所述的微镜单元，其特征在于，所述微镜单元还包括第二静弹性体，所述第二静弹性体固定在所述第一电极上，所述第一静弹性体和所述第二静弹性体分别位于所述转轴的同侧；
4.根据权利要求1至3中任一项所述的微镜单元，其特征在于，所述第一电极、所述第二电极、所述悬臂梁、所述梁支撑柱和所述镜面支撑柱的数量均为两个，两个所述第二电极分别位于所述转轴的两侧，两个所述第一电极分别位于每个所述第二电极的两侧，两个所述悬臂梁相互平行，两个所述悬臂梁上形成的两个所述第一静弹性体分别位于所述转轴的两侧。
5.根据权利要求4所述的微镜单元，其特征在于，分别与两个所述悬臂梁连接的两个所述梁支撑柱位于所述转轴的两侧，分别与两个所述悬臂梁连接的两个所述镜面支撑柱位于所述转轴的两侧。
6.根据权利要求4或5所述的微镜单元，其特征在于，所述微镜单元相对于目标轴呈180°旋转对称，所述目标轴垂直于位于水平位置的镜面。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的微镜单元，其特征在于，所述悬臂梁的两个端部之间的中间区域的宽度与所述悬臂梁的两个端部的宽度不同。
8.根据权利要求7所述的微镜单元，其特征在于，所述悬臂梁的两个端部之间的中间区域的宽度小于所述悬臂梁的两个端部的宽度，且所述中间区域的宽度从中间向两端逐渐变大。
9.根据权利要求1至8中任一项所述的微镜单元，其特征在于，所述微镜单元还包括第三电极，所述第三电极固定在所述第二电极上，所述第三电极与所述第二电极电连接，所述第三电极位于所述镜面下方。
10.根据权利要求1至9中任一项所述的微镜单元，其特征在于，所述微镜单元还包括第四电极，所述第四电极位于所述镜面的下方，所述第四电极与所述第二电极电隔离，所述第一电极和所述第四电极用于驱动所述镜面绕所述转轴转动。
11.根据权利要求10所述的微镜单元，其特征在于，...
【专利技术属性】
技术研发人员：乔大勇，黎永前，孙丰沛，冯志宏，董晓诗，徐景辉，
申请(专利权)人：华为技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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