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本技术提供一种半导体机台电极部件的拆装装置，包括：活动支架，通过至少一个活动杆与电极部件相连；固定支架，通过至少一个支撑件与机台基座相连；以及调节组件，连接于所述活动支架与所述固定支架之间。通过本技术公开的一种半导体机台电极部件的拆装装置，...
该专利属于合肥晶合集成电路股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥晶合集成电路股份有限公司授权不得商用。

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