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本发明属于靶材技术领域，具体公开了一种氧化锡基靶材及其制备方法和应用。本发明的氧化锡基靶材的制备原料按质量份数计包括：氧化锡91～95份、氧化钽1.5～3.5份、氧化锌1.5～3.5份、氧化钨0.5～2份、氧化钆0.3～1.5，此外还包括粘...该专利属于中山智隆新材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中山智隆新材料科技有限公司授权不得商用。
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本发明属于靶材技术领域，具体公开了一种氧化锡基靶材及其制备方法和应用。本发明的氧化锡基靶材的制备原料按质量份数计包括：氧化锡91～95份、氧化钽1.5～3.5份、氧化锌1.5～3.5份、氧化钨0.5～2份、氧化钆0.3～1.5，此外还包括粘...