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霍尔元件和霍尔传感器制造技术
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下载霍尔元件和霍尔传感器的技术资料
文档序号:41263713
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本发明提供霍尔元件和霍尔传感器。抑制薄层电阻的变动,使灵敏度补偿变得容易。霍尔元件具备:基板;层叠体,其包括在基板上形成二维电子气膜的活性层、相对于活性层分别在下侧和上侧层叠的第1缓冲层和第2缓冲层;绝缘膜,其形成于层叠体上;以及多个电极(...
该专利属于旭化成微电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过旭化成微电子株式会社授权不得商用。
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