温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种基板处理装置，更详细地说，涉及对于多个基板执行热处理的基板处理装置。本发明公开了一种基板处理装置，包括：工艺腔室(100)，形成处理空间，所述处理空间为将多个基板(1)沿着垂直方向相互间隔配置来进行处理；第一加热部(200)，...
该专利属于圆益IPS股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过圆益IPS股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。