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本技术公开了一种半导体酸蚀槽密封门装置，包括设置于酸蚀槽顶部的槽框，槽框的尺寸大于酸蚀槽的开口尺寸，在槽框的侧面安装有定位板，在定位板的底部安装有伸缩机构，伸缩机构的伸缩端向上穿过所述定位板，所述伸缩机构的伸缩端处安装有顶升板，通过所述顶升...
该专利属于深圳市鑫承诺环保产业股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市鑫承诺环保产业股份有限公司授权不得商用。

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