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本申请属于电子器件除尘技术领域，公开了一种微电子器件除尘装置,包括除尘壳体，所述除尘壳体的顶部安装有吸尘机构，所述除尘壳体的外壁上安装有驱动结构，所述驱动结构带动安装座进行来回移动，所述除尘壳体内开设有除尘腔，所述除尘腔的内底部安装有对电子...
该专利属于西安电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安电子科技大学授权不得商用。

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