一种微电子器件除尘装置制造方法及图纸

本申请属于电子器件除尘技术领域，公开了一种微电子器件除尘装置,包括除尘壳体，所述除尘壳体的顶部安装有吸尘机构，所述除尘壳体的外壁上安装有驱动结构，所述驱动结构带动安装座进行来回移动，所述除尘壳体内开设有除尘腔，所述除尘腔的内底部安装有对电子器件进行卡紧的卡紧组件。本技术在除尘腔的内底部安装有第一固定条，在第一固定条的侧壁上通过缓冲组件件与第二固定条之间固定连接，第二固定条的两端设置有弹簧件，且弹簧件的一端与L形块之间固定连接，L形块的位置可以进行调节，而且，结合缓冲组件，使得第二固定条与L形块之间的结合可以对多种尺寸大小的微电子进行卡紧作用，提高实用性。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及电子器件除尘，更具体地说，涉及一种微电子器件除尘装置。

技术介绍

1、微电子器件属于精密器件，在微电子器件的生产过程中，需要对微电子的表面进行灰尘的清理作用；

2、经过检索，专利申请号cn202022337678.2 ，一种微电子器件除尘装置，包括密封盒，所述密封盒的上表面设置有离子发生器，所述离子发生器的输出端固定连接有离子风软管，所述离子风软管的一端贯穿密封盒的上表面并延伸至密封盒的内部，所述离子风软管的一端固定连接有固定管，所述固定管的一端固定连接有固定块，所述固定块外表面的一侧固定连接有底座，所述底座的一侧设置有马达，所述马达的输出端固定连接有主动齿轮，所述固定块外表面的底部套接有刷子，所述刷子的上表面开设有齿轮槽，所述齿轮槽与主动齿轮呈啮合连接，所述固定块的下表面开设有通孔，所述通孔的内部固定连接有离子风枪，所述通孔与固定管相导通，所述密封盒的外表面的一侧开设有活动槽，所述密封盒的内侧壁开设有t型槽，所述t型槽的内部活动连接有活动杆，所述活动杆的一端贯穿活动槽并延伸至密封盒的外表面，所述活动杆的表面套接有套环，所述套环的表面本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种微电子器件除尘装置，包括除尘壳体（1），所述除尘壳体（1）的顶部安装有吸尘机构（3），其特征在于：所述除尘壳体（1）的外壁上安装有驱动结构，所述驱动结构带动安装座（7）进行来回移动，所述除尘壳体（1）内开设有除尘腔（2），所述除尘腔（2）的内底部安装有对电子器件进行卡紧的卡紧组件，所述卡紧组件中包括对称的两个第一固定条（10），所述第一固定条（10）的内侧壁上通过缓冲组件与第二固定条（11）连接，所述第二固定条（11）的两端设置有弹簧件，且弹簧件的一端与L形块（15）相连接；

2.根据权利要求1所述的一种微电子器件除尘装置，其特征在于：所述安装座（7）的底部凹槽内安装...

【技术特征摘要】

1.一种微电子器件除尘装置，包括除尘壳体（1），所述除尘壳体（1）的顶部安装有吸尘机构（3），其特征在于：所述除尘壳体（1）的外壁上安装有驱动结构，所述驱动结构带动安装座（7）进行来回移动，所述除尘壳体（1）内开设有除尘腔（2），所述除尘腔（2）的内底部安装有对电子器件进行卡紧的卡紧组件，所述卡紧组件中包括对称的两个第一固定条（10），所述第一固定条（10）的内侧壁上通过缓冲组件与第二固定条（11）连接，所述第二固定条（11）的两端设置...

【专利技术属性】
技术研发人员：潘佳瑞，
申请(专利权)人：西安电子科技大学，
类型：新型
国别省市：