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本发明的光催化剂的制造方法，通过形成非晶的氧化钛，在含氧气氛中进行热处理，可以得到具有良好光催化作用的光催化剂。特别是利用反应性溅射法，在低温下以高成膜速度进行堆积，得到非晶的氧化钛。使用设有冷却手段的溅射装置，可以提高成膜工序的产量。...
该专利属于芝浦机械电子装置股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过芝浦机械电子装置股份有限公司授权不得商用。

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