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本公开提供了一种基于激光自混合干涉的集成光学颗粒物测量系统及方法，该集成光学颗粒物测量系统包括：集成光学垂直腔面发射激光器，用于产生探测激光照射细颗粒物，经过细颗粒物反射形成散射光，并探测散射光与探测激光发生干涉形成的自混合干涉信号；数据采...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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