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本发明涉及一种用于精抛的氧化铈抛光粉的制备方法，具体涉及一种由可溶性铈盐溶液，通过将其雾化喷入含氨气氛中，后直接干燥焙烧制备平均一次粒径4±0.5nm的颗粒状氧化铈抛光粉的过程。制备过程简洁高效，不产生废水，所得抛光粉可用于精抛，抛光性能好...
该专利属于中国科学院大连化学物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院大连化学物理研究所授权不得商用。

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