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基于杨氏双狭缝干涉条纹的线性位移测量装置及方法制造方法及图纸
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下载基于杨氏双狭缝干涉条纹的线性位移测量装置及方法的技术资料
文档序号:41251375
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本发明提出基于杨氏双狭缝干涉条纹的线性位移测量装置及方法,包括双狭缝光阑、线阵相机、位移测量滑动平台、光源和图像处理系统;位移测量滑动平台为在线性导轨处移动的滑台,滑台为被测物体所在位置,滑台与线阵相机相连,使相机光轴与光源输出的激光、双狭...
该专利属于福州大学所有,仅供学习研究参考,未经过福州大学授权不得商用。
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