下载一种背照式图像传感器及其制作方法的技术资料

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本发明公开了一种背照式图像传感器及其制作方法,本发明通过对光电感应单元、金属栅格结构和深沟槽隔离结构形成制程进行优化,一方面能够有效降低对前段制程的影响,另一方面能够有效抑制串扰现象,大幅减少暗电流的产生,并且还能够改变光线入射后折射的角度...
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