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本发明属于半导体晶圆片双面研磨技术领域，具体涉及到：一种晶圆研磨时降低碎片率的方法，此特殊内槽可大大降低晶圆片在研磨机内的碎片率，提高双面研磨的合格率。本发明的内容就是如何通过带有特殊内槽的游星轮降低晶圆片的碎片率，提高双面研磨机的合格率。...
该专利属于安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司授权不得商用。

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