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一种沉积室系统，包括：反应器接口；导流件，该导流件附接到该反应器接口；反应器框架，该反应器框架设置在该反应器接口下方以固定基板；以及弹性物体，该弹性物体具有对应于附接到该反应器框架的基部的第一端部和对应于设置在该反应器接口下方的压缩主体的第...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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