温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请公开一种托盘组件及衬底支撑装置及外延生长设备。该托盘组件包括承载部、衬托、第一定位环及第二定位环，承载部的一侧配置有用于连接支撑筒的第一连接部；承载部远离第一连接部的一侧配置有卡接部。第一定位环，设置在卡接部的内缘，第二定位环设置在卡...
该专利属于芯三代半导体科技（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过芯三代半导体科技（苏州）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。