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本发明公开了一种高效匹配计算光刻的深紫外光刻照明光源转换方法和系统。当照明光源的形状和强度分布改变时，本发明无需重新计算各个微反射镜的倾斜角，而从当前照明光源出发，通过调整少量的微反射镜的倾斜角即可实现新的目标光源，提高了照明模式之间的转换...
该专利属于北京理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京理工大学授权不得商用。

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