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本发明涉及一种硅片花篮的自动抓取清洗设备，包括多个水平分布的硅片摆动式花篮以及承载多个硅片摆动式花篮的支架连接组件，硅片摆动式花篮与支架连接组件的上方共同连接有抓取驱动组件，抓取驱动组件同步抓取支架连接组件以及多个硅片摆动式花篮，同时带动硅...
该专利属于江苏英思特半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏英思特半导体科技有限公司授权不得商用。

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