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本技术涉及薄膜传感器技术领域,特别涉及一种用于制备应变敏感栅薄膜的金属掩模版压紧结构,包括外圈压紧结构、内圈压紧结构、支撑结构和紧固件,所述外圈压紧结构为一内圈设有凸台的圆环结构且放置在金属掩模版上方,所述凸台压紧所述金属掩模版外圈部,所述...该专利属于遨博(北京)智能科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过遨博(北京)智能科技股份有限公司授权不得商用。
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本技术涉及薄膜传感器技术领域,特别涉及一种用于制备应变敏感栅薄膜的金属掩模版压紧结构,包括外圈压紧结构、内圈压紧结构、支撑结构和紧固件,所述外圈压紧结构为一内圈设有凸台的圆环结构且放置在金属掩模版上方,所述凸台压紧所述金属掩模版外圈部,所述...