专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
科磊股份有限公司
>
使用具有多个空间频率的叠对目标的扫描叠对计量制造技术
>技术资料下载
下载使用具有多个空间频率的叠对目标的扫描叠对计量的技术资料
文档序号:41226954
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
一种叠对计量系统可包含照明源及照明光学器件以根据测量配方在样本相对于来自所述照明源的照明运动时,用来自所述照明源的所述照明照射所述样本上的叠对目标。所述叠对目标可包含一或多个胞元,其中单胞元适合于沿着特定方向测量。此胞元可包含具有不同节距的...
该专利属于科磊股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过科磊股份有限公司授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。