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一种半导体芯片分层设备及分层方法技术
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文档序号:41224644
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本发明公开了一种半导体芯片分层设备及分层方法,包括切割机体,切割机体的一侧设置有承载半导体芯片工件的工作台,工作台包括:直筒,直筒设置于切割机体切割部位的下方,直筒的内部设置有隔离篮,隔离篮上设置有用于隔离篮上下往复移动的往复顶动机构,直筒...
该专利属于深圳技术大学所有,仅供学习研究参考,未经过深圳技术大学授权不得商用。
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