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本发明公开了一种带有内加热器的ＰＥＣＶＤ系统，包括真空室和置于真空室内的可移式等离子箱，所述真空室的外周四壁上设有加热板，所述可移式等离子箱至少为两个，各可移式等离子箱平行排列于真空室内，各可移式等离子箱之间设有用于使真空室内均匀受热的内加...
该专利属于深圳市宇光高科新能源技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市宇光高科新能源技术有限公司授权不得商用。

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