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本申请提供一种大尺寸拼接产品的光罩及在线量测定位的方法，其中所述大尺寸拼接产品的光罩包括：至少两个功能不同但尺寸相同的曝光单元区；每个所述曝光单元区的四个角上均设置有镜像对称的锁定角图案，且所述锁定角图案位于所述曝光单元区的芯片区；采用所述...
该专利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。

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