下载用于处理包含SiC表面的基板的装置及方法、真空处理系统的技术资料

文档序号:41222725

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本公开提供了用于处理包含SiC表面的基板的装置、方法以及真空处理系统,用于处理包含SiC表面的基板的装置,包括:处理容器,处理容器包括:第一壳体;第二壳体,与第一壳体相配合,以形成容纳空间;承载结构,设置在容纳空间内,用于承载包含SiC表面...
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