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用于版图处理的方法、设备和介质技术
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文档序号:41217496
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根据本公开的示例实施例提供了用于版图处理的方法、设备和介质。在该方法中,确定版图中用于辅助成像的辅助图形中的子区域,子区域不满足第一约束条件。该方法还包括通过对版图中除子区域之外的区域进行成像仿真,生成针对版图的成像仿真结果。该方法还包括基...
该专利属于全芯智造技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过全芯智造技术有限公司授权不得商用。
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