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本发明涉及碳化硅领域，具体公开了一种基于碳化硅炼用冶炼炉烟尘处理系统；本发明通过设置除尘模块、硫处理模块和碳处理模块，碳化硅冶炼炉产生的废气会依次经过除尘模块、硫处理模块和碳处理模块，废气中携带的碳化硅粉末颗粒以及碳颗粒等固体颗粒物会被除尘...
该专利属于浙江芯科半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江芯科半导体有限公司授权不得商用。

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