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本发明公开了一种通过镓离子注入实现超导量子干涉器件制备的方法，主要涉及超导量子器件技术领域；包括步骤：S1、制作具有桥型约瑟夫森结结构的SQUID器件的版图文件；S2、根据SQUID器件的版图文件制备掩模版；S3、在衬底上进行涂胶操作，将预...
该专利属于上海大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海大学授权不得商用。

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