下载垂直结构发光二极管的制造方法的技术资料

文档序号:4121014

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本发明提供了垂直结构发光二极管的制作方法,包括如下步骤:在氮化镓外延层上沉积接触、反光层金属;在基板上沉积金属焊料;将氮化镓外延层与基板键合;去除蓝宝石衬底;外延层表面粗化,露出外延层中的N型氮化镓;去除划片槽区域的氮化镓外延层;沉积钝化层...
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