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本发明涉及覆砂冷铁技术领域,更具体地说是一种稳定半导体晶片研磨盘工作面的覆砂冷铁,包括冷铁、冷铁覆砂板、木条,所述的冷铁覆砂板呈圆环状设置在底部,所述的冷铁覆砂板上设有若干木条,所述的木条在冷铁覆砂板上按角度均匀分布,所述的冷铁设置在木条之...该专利属于浙江坤博精工科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江坤博精工科技股份有限公司授权不得商用。
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本发明涉及覆砂冷铁技术领域,更具体地说是一种稳定半导体晶片研磨盘工作面的覆砂冷铁,包括冷铁、冷铁覆砂板、木条,所述的冷铁覆砂板呈圆环状设置在底部,所述的冷铁覆砂板上设有若干木条,所述的木条在冷铁覆砂板上按角度均匀分布,所述的冷铁设置在木条之...