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根据本发明构思的一方面，提供了一种用于生产超声系统的超声换能器的方法，其中该方法包括：1)形成第一层结构，包括：(a)在第一基板上形成前板柔性层；(b)形成超声换能器元件的阵列；以及2)提供第二层结构，所述第二层结构至少包括背板层；其中1)...
该专利属于IMEC非营利协会所有，仅供学习研究参考，未经过IMEC非营利协会授权不得商用。

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