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集成电路制备装置，制备方法、集成电路及电子设备。集成电路制备装置用于集成电路的制备，集成电路包括衬底和设置在衬底上的金属线和设置在金属线上的介电层。集成电路制备装置包括：包括工艺腔体，腔体内承载面的基座，承载面用于承载集成电路；与承载面相对...
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