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本发明涉及光学领域，具体涉及一种混合位移测量装置，包括待测工作台、光栅尺、激光光源、第一分光镜、第一测量组件以及第二测量组件，激光光源、第一分光镜、折转镜组以及第一反射镜均相对于待测工作台保持固定，第一基础反射光束在折转镜组的作用下射入光栅...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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